由于芯片制造對環境潔凈度要求極高,任何微小的塵埃顆粒都可能對產品良率和性能產生嚴重影響。因此確保無塵車間的密封性是實現高潔凈度環境的關鍵。本文合景凈化工程公司將深入探討芯片廠房無塵車間裝修密封性設計的關鍵要素。
芯片廠房無塵車間墻面多采用彩鋼板,其拼接處的密封尤為重要。施工時,需使用專業測量工具確保墻面平整度與垂直度誤差控制在極小范圍內。拼接處應嵌入密封膠條或涂抹密封膠,保證無縫隙,杜絕塵埃粒子滲透的可能。對于墻角等易出現泄漏的部位,要使用特制陰陽角配件與密封材料強化密封效果,增強圍護結構的整體密封性。
車間防靜電環氧樹脂地面或防靜電高架地板是常見選擇,它們不僅具備良好防靜電性能,在與墻面、設備基礎交接處,也需通過密封膠等材料進行密封。地面施工過程中,要確保每一塊板材鋪設緊密,縫隙均勻且填充到位,防止灰塵從地面縫隙進入車間內部。
門窗應選用密封性能優異、不易變形且易清潔的材料。門窗接縫處可采用激光焊接工藝,確保縫隙極小。門窗密封系統可采用三元乙丙橡膠復合密封條,門扇四周設置多級密封結構。門窗開啟方式和鎖具的設置要合理,便于人員和物料進出的同時,保障車間的密封性與安全性。
芯片廠房無塵車間通風管道負責車間內空氣的輸送與循環,其密封性直接影響空氣潔凈度。風管材料需選用耐腐蝕、密封性強的鍍鋅鋼板或不銹鋼管。管道與設備、風口之間的連接采用柔性連接方式。管道安裝完成后,需進行嚴格的密封性檢測,確保潔凈空氣在輸送過程中無泄漏、無污染。
潔凈車間內大量線纜需要穿墻而過,這些穿墻孔洞若密封不當,易成為灰塵和污染物進入車間的通道。線纜穿墻處應使用防火、防水、密封性能好的密封材料進行封堵,如防火泥等,確保孔洞被完全密封,阻止外界污染物通過線纜孔洞進入車間內部。
芯片制造設備精密復雜,設備與車間圍護結構、管道等的接口眾多。接口部位必須采用專門的密封配件和密封技術進行處理,保證設備運行過程中,外界污染物不會通過接口進入車間環境,同時防止車間內潔凈空氣泄漏。設備與管道連接的法蘭部位,要使用高質量的密封墊片,并確保螺栓緊固力均勻,達到良好的密封效果。
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